第(2/3)页

    林本坚对接受采访不意外，央妈的团队是和他们搭乘同一个航班来的东京，在来之前央妈那边就已经和新芯沟通好了。

    “好的，陈记者，你问吧。”林本坚很淡定，他刚刚做完介绍，还没有从前面介绍中的兴奋状态中脱离出来，对于和陈晓夏的沟通，他属于机械式反应。

    “林博士，第一个问题，您觉得新芯的技术突破意味着什么？对于光刻机领域，对于半导体领域来说？”

    “意味着困扰业内长达二十年的光源问题得以解决，从90年代开始，光源波长就从365nm降低到了193nm，但是业界一直无法实现突破。

    新芯这次实现了光源波长的突破，从40nm到20nm都将是一马平川，再无困难点阻碍。

    半导体行业依然会按照摩尔定律继续发展，一直到遇到新的瓶颈。”林本坚说得云淡风轻，心里却很得意。

    他在现场看到了之前IBM的老熟人，也是他的对手，IBM光源团队的负责人鲍里斯·利普金。

    之前在IBM的时候，他坚持深紫外光或者浸润法来突破193nm波长的限制，而鲍里斯坚持X光，林本坚后来被IBM“内部退休”和鲍里斯不无关系。

    看到台下的敌人、朋友、对手、合作伙伴，大家虽然有着不同的立场，但是都在为半导体技术又一次进步而鼓掌而高兴，这技术进步是自己带来的，林本坚感到由衷的开心。

    陈晓夏不太能体会林本坚的心情，他知道这很重要，不重要央妈也不会派一整个团队跑过来，他不知道具体有多重要，听完林本坚的回答后，陈晓夏有了更加直观的感受。

    20年的难题被解决了，这确实是值得大书特书的事情，还是由我们华国的企业实现了这一突破。

    “林博士，这次的技术突破你们是如何做到的？如何超越尼康、佳能以及荷兰的ASML这些公司？

    他们在光刻机领域都有着比较悠久的历史，新芯是如何实现的赶超呢？”

    林本坚说：“因为我们选择了正确的方向。

    我们采取的是和其他公司都截然不同的方向。

    在上世纪90年代末的时候，当时业内就提出了各种各样突破193nm波长的方案，其中包括157nm F2激光，电子束投射，离子投射、深紫外光和X光等等。

    其中X光、电子束投射、离子投射都太遥远了，属于是有这个想法，理论来说可行，材料学的现状决定了不现实，这些只是前置研究。

    最普遍的是157nm的F2激光，尼康、佳能、ASML都走的是这一技术路线。

    但是这一技术路线同样有一些难点要克服，比如说157nm波长的光会被193nm波长光源光刻机的镜片吸收，他们要重新研制镜片，光刻胶也要重新研发，他们要克服的困难比我们更多。

    我们采用的浸润法从方向上来说，可以是最简单的解决方案。我在和Newman讨论之后，确定了技术方向，然后朝着这一技术方向前进，没多久就实现了突破。”

    林本坚很自豪，记者则敏锐捕捉到了新闻热点，和周新相关的都是新闻热点，陈晓夏连忙问：“林博士，您刚刚提到了Newman，是我所理解的周新吗？”

    林本坚点头：“没错。”

    陈晓夏继续问：“您的意思是周新博士在其中也起到了作用对吗？”

    林本坚笑道：“他是老板，我们走的技术路线和其他公司都不一样，他得拍板干不干。

    我在和他介绍了我的想法，以及为什么我认为浸润法这一技术路线有戏之后，他当时立刻说好，我同意你的想法，于是我们进一步讨论了浸润法达成了一致，后面新芯开始把所有资源投入到浸润法的研发中。

    我们顺利在今年年中的时候完成了验证，现在新芯的浸润式光刻机已经开始进入到我们的生产环节中去了。”

    陈晓夏下一个问题有些敏感：“我们都知道因为瓦森纳协定的缘故，华国的半导体企业一直都无法实现最先进的半导体制程。

    一般最少比国外的最先进制程落后一代，上世纪九十年代初的时候甚至落后2.5代。
    第(2/3)页